k8凯发

k8凯发官网 语言 k8凯发官网

选择国家/地区

客服热线：
400-666-4000
[→] 立即咨询
关闭 [x]
客服热线：
400-666-4000
[→] 立即咨询
关闭 [x]
LT/LN晶圆激光改质切割设备

LT/LN晶圆激光改质切割设备

产品特点 1、针对LT/LN材料特性开发出的光源系统，实现高精度的内部改质切割；
2、切割速度快，良好的崩边控制能力，兼容正面或背面切割工艺；
3、作业无耗材，加工无材料损失；
4、全自动作业，兼容4、6英寸晶圆；
5、提供系统解决方案，配套裂片、扩片设备；
6、SEMI标准，支持SECS-GEM通信。

产品应用

应用于音频及视频滤波器，卫星滤波器，移动通信滤波器，无线遥控谐振器，等LT/LN衬底晶圆的改质切割，终端产品服务于手机、对讲机、卫星通信、航空航天等高端通信领域。


产品参数

内容

技术参数

晶圆衬底

LT/LN衬底

晶圆尺寸

4英寸、6英寸

晶圆厚度

50μm-500μm

切割速度

600mm/s-800mm/s

定位精度

重复定位精度：±1μ  定位精度：±1μm

传输系统

Load port, robot, aligner

长x宽x高LxWxH

2070mm×1420mm×2238mm


[图标] 联系k8凯发
销售服务热线
销售服务热线:
400-666-4000
在线沟通
在线沟通:
立即咨询
查看更多联系、反馈方式
[↑]
打样申请/技术支持
[x]
申请打样
[x]