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Panel级飞秒激光强化玻璃蚀刻通孔设备

Panel级飞秒激光强化玻璃蚀刻通孔设备

产品特点 1、灵活的尺寸兼容性，最大可加工尺寸730mmx920mm;
2、采用飞秒激光技术，高效、高品质加工；
3、自主研发的的加工和控制系统；
4、 配备高精度的自动校正系统；
5、全自动无人值守；
6、拥有多项自主知识产权及核心技术。

产品参数

内容

技术参数

设备最大加工尺寸

730x920mm

孔位置精度

5μm

运行速度

≥800mm/s

孔真圆度（外孔、内孔）

≥95% (长轴/短轴)

孔壁质量

≤100nm (与材料和刻蚀能力相关)

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